Россия готовится к созданию собственных литографических машин экстремального ультрафиолета (EUV). Тем не менее, она идет другим путем с технологией длины волны 11,2 нм вместо более распространенной 13,5 нм, используемой системами ASML. Николай Чхало из Института физики микроструктур Российской академии наук возглавляет эту работу, надеясь сделать литографическое оборудование более дешевым и менее сложным.
Эти новые российские EUV-машины будут использовать лазеры, работающие на ксеноне, отходя от подхода ASML на основе олова. Чхало утверждает, что эта длина волны 11,2 нм обеспечивает 20-процентный прирост разрешения и может упростить проектирование оптики, одновременно снижая производственные затраты. Кроме того, они стремятся уменьшить загрязнение оптических элементов, что должно помочь ключевым деталям, таким как коллекторы и защитные пленки, служить дольше.
Вот план, состоящий из трех этапов:
Начните с исследования: освойте основные технологии и протестируйте компоненты.
Создайте прототип: машину, способную обрабатывать 60 пластин диаметром 200 мм в час.
Станьте популярнее: готовая к производству система, обрабатывающая 60 пластин диаметром 300 мм в час.
Тем не менее, эти машины не будут такими быстрыми, как у ASML. Они будут работать примерно на 37 процентах пропускной способности ASML, используя источник света мощностью 3,6 кВт. Хотя это не очень хорошо для крупносерийного производства, этого достаточно для мелкосерийного производства.
Переход на длину волны 11,2 нм означает, что им необходимо создать совершенно новую экосистему — например, специальные зеркала, покрытия, конструкции масок и фоторезисты. Даже программные инструменты для проектирования чипов нуждаются в серьезной переработке, особенно для подготовки данных масок и оптических коррекций.
Они пока не определили сроки для этих этапов разработки, но эксперты полагают, что создание полной экосистемы литографии может занять десять лет или больше. Они также не раскрыли, какие узлы процесса будут поддерживать эти новые инструменты.
ЕСЛИ ВЫ ЖЕЛАЕТЕ ЗАКАЗАТЬ РЕКЛАМУ НА САЙТЕ CYBERSTATE.KZ, ПИШИТЕ НАМ НА ПОЧТУ: editor@cyberstate.kz